國內首間最潔凈廠房在寧建成
- 發佈時間：2015-01-14 06:33:10 來源：南京日報 責任編輯：羅伯特
本報訊（記者劉蒙丹通訊員何曉進王定）國內首個國際最高等級“ISO 1級”超凈環境整合系統，近日在南京經濟技術開發區內的南京天加空調設備有限公司落成，這個乾淨得近乎一粒灰塵也沒有的廠房，將用於生産超大規模積體電路和高世代平板顯示等高端産品。
超凈環境又稱潔凈室、無塵室，是指無論室外空氣條件如何變化，仍能使室內空氣中微塵粒子、有害氣體、細菌等污染物排除，且室內溫度、濕度、潔凈度等特性控制在特定範圍內。而“ISO 1級”則是該標準的國際最高標準，該標準要求，每立方米內的微塵顆粒小于10顆。
“浮游在空氣中的微塵顆粒就像太平洋中的魚。‘ISO 1級’的潔凈度，就如同在太平洋那麼大的空間裏，所有‘魚’全都被過濾掉了。”潔凈室技術總監吳小泉打比方説，因為實現難度非常大，截至目前，國內除了天加公司，還沒有其他企業做到。在國外，也只有美國的一家科技企業擁有一間。
去年年底，天加超凈環境整合系統通過專家組評定，來自中國科學院、中國工程院等近30名專家一致評定該系統為國內首創，並達到國際先進水準。專家組主任委員王堯表示，超凈環境核心區潔凈度達到國際標準最高級別，填補了國家相關領域的技術空白。
由於要進行專業消毒，記者沒能進入潔凈室現場體驗。不過，技術人員把記者帶進了控制室，透過玻璃，記者清楚地看到了整個廠房的內部。該潔凈廠房170平方米，外觀和一般的實驗室差不多。“根據實時監測的數據，目前廠房內的空氣中一粒微塵也沒有，可以説纖塵不染。”吳小泉現場介紹説，廠房內的空氣，首先要通過廠房地面上佈滿的細小“孔洞”進行迴圈過濾，然後還要經過加熱、冷淋等16個步驟處理，才能最終達到潔凈標準。
據了解，打造這樣的一間廠房，天加公司投入了1000多萬元，成本比現在常用的“ISO 3”、“ISO 2”級廠房都要高出好幾倍。
“之所以花大本錢打造這樣的廠房，主要是想服務於相關高端産品的生産。”天加公司企業品牌部負責人劉東明説，根據半導體産業的摩爾定律，硅晶圓片尺寸、平板螢幕的尺寸都在不斷擴大，精密性、穩定性要求也越來越高；一般來説，廠房越潔凈，生産出來的電子産品能達到的精密度也就越高。因為沒有“ISO 1”級的潔凈廠房，以前，我國超凈環境的核心部件均由國外設計和製造，嚴重制約了超大型積體電路、高世代平板顯示等産業的發展。有了這個廠房，生産電子核心部件的這項瓶頸被打破了。
技術人員在超潔凈廠房裏？本報記者劉蒙丹攝
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