蘇州建成6英寸微納機電製造中試線
- 發佈時間：2014-10-20 05:59:49 來源：經濟日報 責任編輯：羅伯特
本報訊 記者李佳霖報道:日前中國—新加坡蘇州工業園區舉辦了一場具有特別意義的MEMS感測器産品交付會，蘇州奈米科技發展有限公司將6英寸微納機電製造（MEMS）中試線的首個産品正式交付客戶。這意味著國內首條全開放、市場化運作的6英寸微納機電製造（MEMS）中試線正式運營，該中試線填補了中國MEMS産業創新鏈空白。
當前，我國正處在MEMS産業格局形成、産業化加速發展的時期。據了解，蘇州6英寸微納機電製造（MEMS）中試線由蘇州奈米科技發展有限公司建設，該中試線是江蘇省“十二五”重大科技平臺項目。蘇州素以積體電路産業聞名，一直積極推動中試線建設的蘇州奈米科技發展有限公司負責人、蘇州市積體電路行業協會秘書長張希軍告訴記者：“我國中小MEMS企業發展面臨很多困難，其中一個關鍵的難題是産品的工程化與中試生産，規模代工廠門檻較高，高校院所的實驗室工程化能力較弱或開放度不夠，産品的工程化中試已成為影響中小MEMS企業規模化成長的瓶頸，而中試平臺（線）不僅能夠支援中小公司創新，還可以促進他們規模化發展。”
蘇州6英寸微納機電製造（MEMS）中試線採用市場化、全開放的運作模式，主要開展MEMS産品工藝研發、MEMS加工、部分封裝測試、專利運營、設備租賃、超凈場地租賃、工藝技術培訓等十多項專業服務，目前已成功導入壓力感測器、微鏡感測器、微流體感測器等産品，産品樣品測試結果良好，基本具備了MEMS晶片的開發加工能力。
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