蘇州建成6英寸MEMS中試線填補空白
- 發佈時間：2014-10-20 01:30:40 來源：科技日報 責任編輯：羅伯特
科技日報訊 （記者張曄）9月底，蘇州奈米科技發展有限公司將6英寸微納機電製造（MEMS）中試線的首個産品正式交付客戶，這意味著國內首條全開放、市場化運作的6英寸微納機電製造（MEMS）中試線正式運營。
據了解，蘇州6英寸微納機電製造（MEMS）中試線，由蘇州奈米科技發展有限公司建設，超凈場地、廠務配套設施、研發實驗室、公共服務等場地共16000平方米，其中超凈工藝場地5200平方米，該中試線是江蘇省“十二五”重大科技平臺項目，也得到了工信部“工業轉型升級服務平臺項目”支援。
由於我國MEMS産業的創新鏈不完善，中小MEMS企業發展面臨很多困難，尤其是産品的工程化中試已成為影響中小MEMS企業規模化成長的瓶頸。據了解，蘇州6英寸微納機電製造（MEMS）中試線採用市場化、全開放的運作模式，主要開展MEMS産品工藝研發、MEMS加工、部分封裝測試、超凈場地租賃、工藝技術培訓等十多項專業服務，目前已成功導入壓力感測器、微鏡感測器、微流體感測器等産品，基本具備了MEMS晶片的開發加工能力。
“我們的中試線，與科研機構的概念驗證、單步工藝能力不同，主要開展中試和小批量生産業務，前端與産品樣品銜接，後端與規模代工廠銜接，是一個完全工業級別的中試線。”蘇州6英寸微納機電製造（MEMS）中試線運營總監遊家傑告訴記者。蘇州市積體電路行業協會秘書長張希軍一直積極推動中試線建設，他認為中試線不僅是中小企業的創新平臺，更彌補了中國MEMS産業創新鏈的空白。
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