江蘇省科技成果轉化專項資金項目——超大型積體電路用高純鈦（5N）的研發及産業化
- 發佈時間：2015-04-02 00:33:18 來源：科技日報 責任編輯：羅伯特
■ 六九鈦業科技有限公司的重點項目
高純鈦，是指純度在99.95%乃至99.995%以上的鈦。具有密度小，比強度高，彈性模量低(表面硬度)，導熱系數小，耐腐蝕、耐熱、耐冷、無磁性、無毒等特性，主要應用在半導體大規模和超大型積體電路上。目前絕大多數的大型積體電路中均使用高純鈦作為隔離層材料。在數據儲存、太陽能光伏電池、平面顯示等其他高端微電子領域以及醫藥合金領域也有一定的應用。
隨著中國大型積體電路工業的迅速發展，國內對於高純度鈦的需求也在與日俱增，據悉，2014年市場需求達3000噸。然而，全球高純鈦（5N）規模化生産技術僅有日本和美國兩家公司掌握，全球市場被上述兩家公司壟斷。這兩家公司分別採用克勞爾法和熔鹽電解法，克勞爾法是海綿鈦的主要生産方法，生産高純鈦時需要更高純的TiC14和Mg，成本高，且還原蒸餾時污染嚴重，尤其是重金屬元素污染；熔鹽電解法採用電化學原理制取純鈦，生産成本高。中國所有的大型積體電路廠商都使用國外進口的高純鈦産品。目前我國生産的海綿鈦最高純度為99.8%。
江蘇省金壇市六九鈦業科技有限公司在發展初期就制定了以研製面向高端資訊産品應用的高純電子化學品——高純鈦為主導，公司依託郭蔚及其研發團隊，首次採用TiCl4熔鹽電解工藝實現規模化生産，突破了熔鹽電解法規模化生産及核心裝備技術瓶頸，5N高純鈦工業化轉化效率大幅提高，轉化率達90%以上，降低了規模化生産成本。公司已實現單爐月産100公斤級生産能力的5N高純鈦産業化，指標達到並有部分超過國際同類産品，該項目的産業化幫助國內積體電路産業改變嚴重依賴國外的被動局面。公司自主開發出了具有世界領先和自主智慧財産權的工藝及裝備技術，實現設備國産化（價格僅進口設備的1/5），降低製造成本30%，迫使同類進口産品降價，提高了中國高純鈦産品國際競爭力。公司已形成超高純鈦的生産和研發基地。該項目的研製成功，填補了中國高純鈦生産的空白，在解決與日俱增的內需同時，還可出口創匯，打破美國和日本在該産品市場的壟斷地位。
同時，公司完成電子束熔煉設備國産化設計，高純鈦鈦錠成型，降低易揮發元素和氣體元素含量，為6N以上高純鈦産品奠定技術基礎。公司已開展6N高純鈦工業化技術的實驗室控制和中試線研究，奠定工業化技術基礎，趕超國際水準。並可推廣應用到高純鋯、鉿等超高純材料的提純製備技術中。
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