龍子湖畔，崛起傳感産業“新地標”

車用壓差感測器、MEMS陀螺儀信號處理電器、MEMS加速度計……在中國（蚌埠）傳感谷展示中心，種種傳感領域的高精尖産品讓人眼花繚亂。感測器“身量”不大，卻是萬物互聯的關鍵。正是利用它採集數據，人與物“對話”、物與物“交流”成為可能。

中國（蚌埠）傳感谷是省委、省政府重點支援建設的智慧傳感産業集聚區，與合肥“聲谷”、蕪湖“視谷”並稱安徽省人工智慧産業“三谷”，2021年啟動建設。目前，中國（蚌埠）傳感谷已聚集北方微電子研究院、芯動聯科、希磁科技等一批行業領軍及重點企業。

科技賦能 産業發展增添活力

日前，中國（蚌埠）傳感谷展示中心展出一批新産品。其中，安徽北方微電子研究院集團有限公司自主研發的高穩定MEMS壓力感測器晶片頗受關注。

“MEMS壓力感測器是基於MEMS工藝技術和積體電路技術的壓力測量器件，其體積小、成本低、可批量生産等特點，滿足了消費電子、工業工程等行業需求。”北方微電子研究院半導體及MEMS工藝部副主任王文婧告訴記者。

依託MEMS國家地方聯合工程實驗室等研發平臺，北方微電子研究院開發了高性能MEMS器件晶片的先進製造技術，在高性能慣性、微鏡、環境感知等器件研製方面形成了國內領先的技術優勢。

“技術創新是企業發展的‘命脈’。我們建成6英寸體硅MEMS製造平臺及8英寸微系統整合研發平臺，實現産業鏈製造端自主可控，累計完成60餘款MEMS器件工藝開發，廣泛應用於汽車、醫療、高端工業等領域。”王文婧説。

中國（蚌埠）傳感谷園區按照“一谷三園多點”的産業集群總體佈局，其中“三園”即MEMS核心器件産業園、科技孵化園、中央創新園。

目前，傳感谷內組建了微電子機械系統（MEMS）國家地方聯合工程實驗室、安徽省智慧感測器製造業創新中心、安徽省MEMS核心器件産業創新中心等近20個創新平臺，初步形成集智慧感測器設計、製造、測試、封裝和應用於一體的完整産業體系，蚌埠也成為安徽省唯一同時擁有積體電路及多條MEMS晶圓生産線的城市。

芯動聯科MEMS陀螺儀的主要技術指標達到中低精度光纖陀螺和鐳射陀螺，填補國內高端MEMS慣性感測器空白；北方微電子研究院“面向新一代超聲診療的高性能MEMS換能器晶片關鍵技術研究”項目獲2022年省“揭榜挂帥”立項……傳感谷內持續涌現的創新成果，正不斷提升智慧傳感産業的“含金量”。

築巢引鳳 産業項目加速集聚

在位於中國（蚌埠）傳感谷的安徽禹芯半導體科技有限公司，100多台機器不停運轉，自投産以來，該企業一直保持著産銷兩旺的態勢。

“我們是最早一批入駐傳感谷的項目。企業起初在蘇州，後在宿州設廠，隨著産能逐步擴大，需要新的研發生産基地。蚌埠經開區多次到府招商，積極宣傳政策，幫助解決廠房用地等問題，堅定了企業來蚌發展的決心。”該公司市場部經理王會珍告訴記者。

為滿足禹芯半導體企業生産需求，蚌埠經開區管委會工作人員積極對接、到府徵求企業意見。很快，佔地2萬多平方米的定制化廠房拔地而起。得益於蚌埠市各級政府全流程服務，企業在較短時間內完成環評、裝修、生産設備遷入、招工等工作，不到一年實現量産。

“蚌埠是全國三大感測器基地之一，産業基礎和技術優勢明顯。相信從這裡出發，我們一定能在感測器領域有所作為。”王會珍説。

目前，傳感谷已建成産業空間和公共配套設施50萬平方米，建成智慧感測器生産線與8英寸MEMS晶圓製造線兩大公共示範線，為入駐企業提供高端的晶片設計、工藝驗證、晶圓製造、封裝測試等全鏈條服務。

蚌埠市成立智慧感測器産業專班，由市領導牽頭調度，定期協調解決園區建設發展中的各類問題。同時，為入園重點項目匹配服務專員，實施全流程、一站式跟蹤服務幫辦。

“園區將配套建設人才公寓、污水處理中心、電鍍産業園、大宗氣站等設施，全方位服務感測器産業發展。”蚌埠經開區管委會主任唐廣廷告訴記者。

8英寸MEMS晶圓線項目正在建設，融薇科技6英寸線年內投産……一批好項目大項目加速推進，為園區高品質發展蓄勢聚能。目前，中國（蚌埠）傳感谷集聚智慧傳感産業重點企業70余家，其中規模以上企業39家。

政策加持 産業生態不斷優化

車用MEMS感測器晶片封測項目，攜帶型醫療測溫用智慧檢測儀項目，智慧家居研發製造項目……4月22日，在第五屆中國（蚌埠）MEMS智慧感測器産業發展大會上，總投資137億元的40個項目集中簽約落戶中國（蚌埠）傳感谷。

近年來，蚌埠市將智慧傳感産業列為四大産業集群之一，組建智慧感測器産業招商分局開展精準招商。

圍繞主導産業鏈，蚌埠經開區利用招商隊伍、商會資源等深入滬蘇浙開展延鏈招商、以商招商，組織龍頭企業、專精特新企業、高新技術企業等主體對標學習長三角先進地區經驗，開展上下游企業對接活動，推動感測器産業集群集聚發展。

聚焦企業融資難，蚌埠市組建新一代資訊技術産業發展基金、新微人工智慧基金、深賽智慧感測器前沿投資基金等多只專項基金，同時探索科創企業投貸聯動機制，撬動更多金融資源參與項目建設，支援各類感測器技術成果轉化和重大項目落地。

日前，蚌埠學院“積體電路設計與整合系統專業”獲批，與北方微電子研究院聯合共辦的“兵器微電子定制班”也正在實踐中。

“未來，我們將與安徽財經大學、蚌埠醫學院等高校嘗試開展校企合作，聯合培養更多專業技能人才，源源不斷為傳感谷提供智力支撐，解決感測器上下游企業用才需求，助力蚌埠傳感産業做大做強。”唐廣廷説。

當前，蚌埠市政府正在制定對標國內一線水準、富有競爭力的智慧傳感專項政策，包括研發設計、流片補貼、軟體補貼、認證補貼、強鏈補貼、設備補貼、代工補貼、資本支援、金融支援、實訓培養，覆蓋全産業鏈和企業全生命週期。

中國（蚌埠）傳感谷計劃利用5年時間，吸引國內外感測器及物聯網200余家優質企業，力爭2025年産業規模突破200億元。

在眾多政策的加持下，蚌埠智慧感測器産業生態圈雛形初顯，中國（蚌埠）傳感谷正成為智慧傳感産業企業、人才和資金的匯聚地。一座産業“新地標”在龍子湖畔加速崛起。