為深入貫徹黨的二十大“加快實施創新驅動發展戰略,要加強企業主導的産學研深度融合,強化目標導向,提高科技成果轉化和産業化水準”精神,全面落實成都市委“科技成果轉化要有力有效”決策部署,將成都高新區打造具有全國影響力的創新成果中試首選地、創新驅動引領高品質發展示範區,成都高新區科技創新局深入走訪、全面摸排區內具備中試功能的公共技術平臺和先進製造企業,宣傳“中試十條”政策,特別是引導鼓勵企業平臺對外提供中試服務,並以“樣品生産”和“對外服務”為金標準,經過企業申報和專家評審,認定了電子資訊、生物醫藥兩個方向的首批21家中試平臺。
積體電路材料中試平臺
中試平臺及建設主體:積體電路材料中試平臺,由成都芯仕成微電子有限公司建設。
芯仕成是成都高新區“四派人才”企業,是電子薄膜與整合器件全國重點實驗室科技成果轉化基地,建立了單晶薄膜材料及異質異構整合技術相關的倣真設計、加工製造和測試分析條件,形成了積體電路核心材料製備加工、檢測分析以及晶片流片等能力,能支撐功率半導體晶片、射頻晶片、光電晶片、傳感晶片和類腦晶片等先進積體電路産品的研發、中試和批量試産。公司已獲得授權專利18項、積體電路布圖5項和軟體著作權1項。
平台中試服務內容:平臺建成了“實驗驗證一一中試熟化一一批量生産”的産業化鏈,擁有材料計算、製備、加工能力,支撐積體電路核心材料的中試熟化,示範帶動效果顯著。
針對功率半導體、6G行動通訊、神經網路計算晶片、單光子探測等領域“卡脖子”問題,並面向未來新興賽道,平臺承接生産SiC(碳化矽)、GaN(氮化鎵)、InP(磷化銦)等第三代半導體材料,YBCO(釔鋇銅氧)奈米膜等量子材料,可光刻玻璃基板、陶瓷基板等封裝材料,LiTa03(鉭酸鋰)、LiNb03(鈮酸鋰)等功能材料;發明新一代SiC晶圓材料,使SiC功率器件的成本降低40%,能對電動汽車、光伏發電、高鐵等下游應用領域産生顛覆性影響,發明硅基LiTa03單晶薄膜,用於研製新一代射頻濾波器晶片,可以解決目前我國該類産品95%依賴進口的窘狀,每年有近1000億元的市場規模。
平臺實力:平臺擁有員工20余人,研發人員佔比60%,擁有碩博士專業技術人才佔員工比例約50%;平臺主要管理和技術團隊有電子科技大學、德國德累斯頓工業大學相關專業背景,入選過國家級、省級先進人才行列,獲得過多項發明獎勵,曾在華為、夏普等頭部企業任職。平臺佔地約2000㎡,購置價值3千萬元相關設備,具備積體電路核心材料製備加工、檢測分析以及晶片流片等條件。(選送單位:高新區科技創新局)