為深入貫徹黨的二十大“加快實施創新驅動發展戰略,要加強企業主導的産學研深度融合,強化目標導向,提高科技成果轉化和産業化水準”精神,全面落實成都市委“科技成果轉化要有力有效”決策部署,將成都高新區打造具有全國影響力的創新成果中試首選地、創新驅動引領高品質發展示範區,成都高新區科技創新局深入走訪、全面摸排區內具備中試功能的公共技術平臺和先進製造企業,宣傳“中試十條”政策,特別是引導鼓勵企業平臺對外提供中試服務,並以“樣品生産”和“對外服務”為金標準,經過企業申報和專家評審,認定了電子資訊、生物醫藥兩個方向的首批21家中試平臺。
功率半導體檢測中試平臺
中試平臺及建設主體:功率半導體檢測中試平臺,由成都復錦功率半導體技術發展有限公司依託“岷山行動”計劃首批揭榜項目“成都岷山功率半導體技術研究院”建設。
平臺團隊情況:平臺由前臺積電高管張帥博士,前軟銀資本高管、現成都矽能科技有限公司總經理白傑,以及功率半導體著名專家、電子科技大學張波教授領銜管理運營,提供技術支援。
平台中試服務內容:功率半導體中試平臺由可靠性測試及失效分析聯合實驗室、PSTI-ADT切割聯合實驗室組成。平臺為第三代半導體和傳統材料提供切割、可靠性測試、失效分析等技術服務。
可靠性測試及失效分析聯合實驗室:位於高新西區,以先進的測試儀器為核心,並結合研究院數十位專家團隊的豐富經驗,其中包括多位擁有10年以上可靠性測試及失效分析經驗的資深專家,以專業的技術服務面,覆蓋傳統硅基器件到三代半功率器件,高壓到低壓,器件到模組,提供高效且全面的特性測試和表徵,致力縮短測試出貨前的品質驗證陣痛期,為客戶嚴謹把關産品品質。
可靠性測試方面,實驗室結合軍規(MIL-STD)、車規(AEC)、工規/商規(JEDEC)等國際標準與客戶需求,提供相關檢測項目。
主要設備包括:高溫反偏試驗箱(HTRB)、高溫柵偏試驗箱(HTGB)、高溫高濕試驗箱(H3TRB)、功率迴圈試驗箱(IOL)、高加速壽命試驗箱(HAST)、溫度迴圈試驗箱(TC)、無鉛回流焊(IR-Reflow)等。能進行環境(高低溫)模擬試驗、電老煉試驗、加速壽命試驗、引線拉力測試、振動試驗、可焊性、ESD測試等測試項目。
在産品測試之後,實驗室還可根據客戶要求,提供從電性檢測、有損/無損分析、失效驗證、報告出具的全套失效分析解決方案,也能進行定制化失效分析服務,最終協助客戶準確地找出産品失效點位。
主要項目包括:光學電子顯微鏡(OM)、X射線檢測(X-Ray)、超聲波掃描(SAM)、IV曲線跟蹤儀、鐳射開封、化學開封、金屬去層、PN結染色、探針臺、液晶定位、截面研磨等。
PSTI-ADT切割聯合實驗室:位於高新西區,由成都岷山功率半導體技術研究院和先進微電子裝備(鄭州)有限公司(ADT)共同組建,面向西南地區的廣大半導體設計公司以及高校服務,旨在打造一個西南地區覆蓋多種材料、工藝、數量需求的全方位切割平臺,為市場提供即時的、可靠的、專業的切割服務。
實驗室技術團隊出眾,其中實驗室負責人在INTEL等行業龍頭公司切割領域工作多年,有豐富半導體切割經驗。
實驗室設備設施完備。目前實驗室具備100k的潔凈環境,配備有貼膜機、ADT精密切割機、清洗機、UV解膠機、擴膜機等,其中共有3台切割設備,囊括硅、碳化矽、氮化鎵、砷化鎵等市場主流材料,和4寸、6寸、8寸、12寸(外協)晶圓以及二次切割等市場主流需求。
此外,實驗室預計今年還將添置一台切割設備,同時將引進研磨設備,提供8寸晶圓grinding服務,以求服務更高效,覆蓋更廣泛。
研究院還與ADT以色列先進切割技術公司合作,獲得品牌授權向公司及公司的客戶提供相應切割技術、工藝流程、售後服務以及人員培訓等技術支援。(選送單位:高新區科技創新局)