中國網/中國發展門戶網訊 2024年5月8日，中國科學院上海微系統與資訊技術研究所（以下簡稱上海微系統所）的研究員歐欣團隊在鉭酸鋰異質整合晶圓及高性能光子晶片製備領域取得突破性進展，相關成果以《可批量製造的鉭酸鋰整合光子晶片》為題，發表于國際學術期刊《自然》。

據了解，隨著全球積體電路産業發展進入“後摩爾時代”，積體電路晶片性能提升的難度和成本越來越高，人們迫切尋找新的技術方案。以硅光技術和薄膜鈮酸鋰光子技術為代表的整合光電技術是應對此瓶頸問題的顛覆性技術。其中，鈮酸鋰有“光學硅”之稱，近年間受到了廣泛關注。與鈮酸鋰類似，歐欣團隊與合作者研究證明單晶鉭酸鋰薄膜同樣具有優異的電光轉換特性，且在雙折射、透明窗口範圍、抗光折變、頻率梳産生等方面相比鈮酸鋰更具優勢。此外，硅基鉭酸鋰異質晶圓（LTOI）的製備工藝與絕緣體上的硅（SOI）更加接近，因此鉭酸鋰薄膜可實現低成本和規模化製造，具有極高的應用價值。

（a）硅基鉭酸鋰異質晶圓（b）薄膜鉭酸鋰光學波導製備工藝及波導的掃描透鏡顯微鏡（SEM）

歐欣團隊採用基於“萬能離子刀”的異質整合技術，通過氫離子注入結合晶圓鍵合的方法，製備了高品質硅基鉭酸鋰單晶薄膜異質晶圓。進一步，與合作團隊聯合開發了超低損耗鉭酸鋰光子器件微納加工方法，對應器件的光學損耗降低至5.6 dB m^-1（低於其他團隊報道的晶圓級鈮酸鋰波導的最低損耗值）。結合晶圓級流片工藝，研究人員探索了鉭酸鋰材料內低雙折射對於模式交叉的有效抑制，並驗證了可以應用於整個通信波段的鉭酸鋰光子微腔諧振器。鉭酸鋰光子晶片不僅展現出與鈮酸鋰薄膜相當的電光調製效率，同時基於鉭酸鋰光子晶片，研究團隊首次在X切型電光平台中成功産生了孤子光學頻率梳，結合其電光可調諧性質，有望在鐳射雷達、精密測量等方面實現應用。值得一提的是，目前研究團隊已率先攻關8英寸晶圓製備技術，為更大規模的國産光電整合晶片和移動終端射頻濾波器晶片的發展奠定了核心材料基礎。

歐欣研究員介紹：“相較于薄膜鈮酸鋰，薄膜鉭酸鋰更易製備，且製備效率更高。同時，鉭酸鋰薄膜具有更寬的透明窗口、強電光調製、弱雙折射、更強的抗光折變特性，這种先天的材料優勢極大地擴展了鉭酸鋰平臺的光學設計自由度。”

8英寸硅基薄膜鉭酸鋰晶圓製備

鉭酸鋰光子晶片所展現出的極低光學損耗、高效電光轉換和孤子頻率梳産生等特性有望為突破通信領域速度、功耗、頻率和頻寬四大瓶頸問題提供解決方案，並在低溫量子、光計算、光通信等領域催生革命性技術。據悉，該團隊孵化的上海新硅聚合半導體有限公司已經具備異質晶圓量産能力，並在國際上率先開發出8英寸異質整合材料技術，為更大規模的國産光學和射頻晶片的發展奠定了核心材料基礎。

近十年來，上海微系統所歐欣研究員所帶領的異質整合團隊集中突破高品質單晶薄膜製備及異質整合共性技術，同時重點佈局基於異質整合材料的5G/6G高頻聲學射頻濾波器、高速整合光子器件及高功率電子器件技術。異質整合團隊孵化的上海新硅聚合半導體有限公司正全力推動異質整合材料關鍵技術的工程化和産業化，為國內相關領域實現自主創新發展奠定了核心異質材料基礎。

據悉，本工作的第一完成單位為上海微系統所，第一作者為上海微系統所王成立（現為瑞士洛桑聯邦理工學院博士後），上海微系統所歐欣研究員和瑞士洛桑聯邦理工學院Tobias J. Kippenberg教授為通訊作者。