近日，上海凱世通半導體股份有限公司向12吋積體電路新客戶交付了首臺面向CIS（CMOS Image Sensor）的大束流離子注入機。據悉，2024年一季度，凱世通每月向多家重復訂單客戶發貨多臺離子注入機設備，僅單季度搬入客戶端即有8台離子注入機，展現了快速發展的強勁勢頭，實現了一季度開門紅。

面向CIS的離子注入機出廠交付

積體電路産業是電子資訊産業的核心，是支撐國家經濟社會發展的戰略性、基礎性、先導性産業，也是當前我國亟須重點突破的領域。離子注入機與光刻機、刻蝕機、薄膜沉積設備被稱為晶片製造的“四大核心前道設備”。由於系統複雜、技術門檻高、工藝結果驗證困難等各方面原因，我國在離子注入機環節的國産化率不足5%，國産替代市場空間廣闊。

凱世通堅持以産業需求和技術創新為牽引，實現了低能大束流離子注入機、超低溫離子注入機、高能離子注入機産業化和重復訂單。此次攻克技術難度極高的CIS大束流離子注入機進一步表明凱世通在關鍵核心技術上具備持續自主研發創新的卓越能力，積極踐行發展新質生産力，推動離子注入機技術突破與産品迭代。

後續凱世通將在離子注入機領域繼續深耕細作、創“芯”升級，豐富産品組合，以更優質的産品回饋客戶，服務積體電路客戶高品質發展。

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來源：信陽日報    | 撰稿：凱世通    | 責編：谷晟    審核：張淵

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