中國網/中國發展門戶網訊 陜西光電子先導院先進光子器件創新平臺3月30日在西安全面啟用。該平臺具備光子晶片製程中的光刻、刻蝕、蒸鍍等多項核心工藝，將為光子産業項目提供産品研發、中試、檢測等全流程技術服務，為光子産業各類創新主體打通從産品研發到市場化批量供貨的完整鏈條。
陜西光電子先導院先進光子器件創新平臺3月30日在西安全面啟用。
該平臺的啟用，標誌著陜西向打造具有全球影響力的光子産業生態高地的戰略目標又邁出了堅實的一步，將吸引更多光子産業創新要素匯聚陜西，培育一批具有先發優勢和全球競爭力的光子産業冠軍企業，推動光子産業向集群化、規模化、高産值化發展。
橢偏儀。供圖：陜西光電子先導院。
實現光子産業鏈上下游企業聚集
據悉，先進光子器件工程創新平臺佔地30畝，建有中試車間、中試大樓、綜合樓和動力站等研發和中試配套設施，總建築面積約30000平方米，潔凈廠房3000平方米，一期專業設備100多臺（套），具備以GaAs、GaN為主線，圍繞6英寸化合物晶片工藝服務能力的柔性中試平臺，以技術服務與工程代工相結合的形式，為光子産業孵化項目提供産品研發、中試、檢測等全流程技術服務。
同時，先進光子器件工程創新平臺將有效解決第三代化合物半導體晶片製造的外延生長與製程等關鍵問題，為光電晶片、功率器件、射頻器件等晶片設計企業、高校、科研院所提供外延生長、光刻、刻蝕、薄膜製備、清洗、減薄、拋光、劃片等晶片製造全流程服務。
涂膠顯影設備。供圖：陜西光電子先導院。
先進光子器件工程創新平臺通過與創新企業持續進行聯合研發，光子晶片製程中的光刻、刻蝕、蒸鍍等多項核心工藝技術不斷攻克，平臺軟硬體建設已不斷完善，將持續助力光子産業鏈上下游企業聚集。
目前，陜西光電子先導院已培育和聚集了近百家光子産業企業，入駐光電子領域企業30余家。
助力陜西搶佔“光”先機
21 世紀被認為是“光子時代”。當前，全球 IT 産業正處在“從電子到光子”的世代轉換過程中，光子産業有望成為 21世紀最具戰略性、基礎性、先導性的新興産業。
陜西在光子産業方面具有明顯優勢。一方面，陜西擁有中科院西安光機所、西電、西工大等一批光子學科齊全、特色鮮明的大院大所和高校，科研成果豐厚。另一方面，陜西光子産業集群已初具規模，初步形成了光子製造、光子資訊、光子傳感等産業集群。同時陜西在光子技術産業領域有著深厚的科研基礎，高折射率硅光晶片、微納光波導、光柵耦合器和VCSEL鐳射器、半極性GaN光電晶片襯底材料等方面處於行業領先水準。在世界新一輪科技革命和産業變革同我國轉變發展方式的歷史性交匯關鍵時期，為贏得先機，陜西推動實施了“追光計劃”，搶抓光子産業高速增長的戰略機遇。
未來，陜西光電子先導院將立足先進鐳射與光子製造、光子材料與晶片、光子傳感三大重點領域，緊密融合秦創原創新驅動平臺，在加快統籌謀劃“追光計劃”的過程中，積極探索光子領域的實踐經驗，引領光電行業發展，擁抱“光子時代”。