7月3日至5日，國際顯示技術及應用創新大會在上海舉行，即將在我市投産的新産品——半導體晶圓輸送機器人亮相展會。

　　據了解，晶圓輸送機器人承擔著晶圓精確定位與平穩搬運的任務，是半導體製造裝備中使用最多的機器人設備。晶圓輸送機器人的定位傳輸精度，直接決定著晶圓傳輸設備整機系統的傳輸精度。由於零部件構造複雜、精度要求嚴苛等問題，這一技術一直是半導體製造裝備領域的一大難點，長期被國外壟斷。

　　為攻克這一技術難關，山東現代慶煬智慧裝備有限公司(以下簡稱現代慶煬)研發團隊歷經多年研發，成功研製出半導體晶圓輸送機器人和晶圓自動上下料機器人。這一系列産品能夠實現晶圓高效、穩定運輸，為晶圓自動化搬運保駕護航，助力我國半導體製造裝備行業發展。

　　展會上，現代慶煬還與成都環龍智慧機器人有限公司等4家企業進行了現場簽約，雙方將在半導體晶圓輸送機器人及其他領域開展深度合作。記者了解到，另外還有十余家未到場企業有合作意向。

　　“淄博作為老工業基地，工業門類齊全，産業基礎雄厚，特別是近年來對機器人産業扶持力度大。工博士將以此次簽約為契機，期待未來能繼續與這座城市攜手共進。”簽約嘉賓工博士機器人智慧裝備事業部總經理姚雪在現場説。

　　今後，這一産品將落地臨淄智慧機器人産業基地，進一步延伸我市機器人産業鏈，推動我市機器人産業生態更加豐富。(記者趙培珊 胡明)