“今年作為疫情結束之後的首屆進博會,我們還是蠻期待的。”
伴隨第六屆國際進口博覽會帷幕的開啟,半導體行業領先供應商ASML(阿斯麥)以“光刻未來,攜手同行”為主題,亮相位於國家會展中心的技術裝備展區積體電路專區。
ASML全球高級副總裁、中國區總裁沈波在此次參展的預熱活動中表示,這是AML第五次參加進博會。“近幾年,ASML似乎已經成為一家‘網紅’公司。我們希望通過進博會這一難得的平臺和窗口,令公眾對公司有更客觀、更全面的認識。”
據悉,今年ASML共分為三個展區,包括公司介紹及拍照打卡區、虛擬晶圓廠及ASML全景光刻解決方案、倣真光刻機“開箱”區。“製造晶片是一個非常複雜的過程”。沈波坦言,“今年,我們著力想讓大家理解作為一個晶片廠,ASML究竟能幫我們的客戶做什麼。”
ASML展臺效果圖
ASML總部位於荷蘭菲爾德霍芬,自1988年向中國交付了首臺步進式光刻機以後,迄今已在中國市場深耕30餘年。如今,中國已成為ASML最重要的市場之一,設有16個辦事處、12個倉儲物流中心、3個開發中心、1個培訓中心以及1個維修中心。
沉浸式呈現“鐵三角”解決方案
本屆進博會,ASML延續數字化路線,帶領觀眾進入虛擬晶圓廠,在數字化空間裏展示晶片製造全流程,並沉浸式體驗ASML所專注的“成像環節”,深度了解ASML包括光刻機臺、計算光刻以及光學和電子束量測在內的全景光刻解決方案如何相互協作、支援客戶。該環節旨在持續傳遞ASML以全景光刻“鐵三角”的無間合力,幫助晶片製造商經濟高效地提升良品率和生産效率,支援半導體行業共同發展的願景。
現場亦將展出倣真光刻機外觀平面模型,並通過裸眼3D視頻,展示光刻機內部構造,引領觀眾們探索和了解ASMLDUV(深紫外線)光刻機核心部件以及基本工作原理。
在晶片製造的上千道工序中,成像環節是ASML所關注的。此次進博會上,ASML帶來了全景光刻解決方案。
“大家聽到ASML就會想到光刻機,實際上光刻機的作用就是讓客戶在整個晶片製造過程中實現成像。因此,怎樣把成像做得更好,幫助客戶在製造晶片的過程中實現更好的良率,從而更順暢地將工藝窗口做得更好,是我們圍繞成像過程努力的目標。”沈波坦言。
基於此,不僅是光刻機,ASML計算光刻的軟體和整個量測系統,共同構成一個越來越緊密協作的“鐵三角”,即包括配備強大工藝控制能力的光刻機臺、計算光刻、光學及電子束量測的全景光刻解決方案,幫助晶片製造商生産更小、更強大、更智慧的晶片。
其中光刻機作為“晶圓成像專家”,可幫助客戶製造晶片;計算光刻可創建光刻工藝的精確倣真模型,提高良率和産能;量測則可以在曝光後進行晶圓成像檢查和反饋,幫助模型進一步優化。據沈波透露,這一“鐵三角”解決方案頗受中國客戶歡迎,並在行業中獲得諸多認可。
不斷釋放的中國半導體市場潛能
1988年,第一台ASML步進式光刻機進入中國。在中國,ASML始終積極響應中國積體電路行業的發展需求,從而幫助客戶提高效率並降低成本。
沈波表示,晶片行業發展至今,已有超過60年的歷史。從當前終端市場的表現看,中國半導體市場有很大發展潛能,尤其是在成熟製程領域。
根據公開數據,在家電行業,中國是家電和消費電子産品的最大消費國和生産國之一,預計2023年在該領域最高將創造1,530億美元的收入,約佔全球的30%;在汽車行業,根據中國汽車工業協會的最新統計數據,中國新能源汽車的增長速度連續八年保持世界第一;在儲能行業,截至2022年底,中國已投運的電力儲能項目累計裝機容量為59.8GW,佔全球市場總量的 25%,年增長率為 38%。另外,中國企業供應了全球約 80%的多晶硅、太陽能電池和組件。
與此同時,從成熟製程到先進製程的終端消費市場,例如智慧手機、伺服器、數據中心和存儲、無線和有線基礎設施等領域,中國均有顯著增長。
“上述市場均為半導體應用相關的重要終端市場。另外還有工業應用,尤其是如今熱門的智慧製造,其核心是工業自動化、工業應用,包括機器人的應用等。”以工業機器人的應用為例,工業和資訊化部數據顯示,2022年中國工業機器人裝機量佔全球比重超50%,已成為全球第一大工業機器人市場。
全球電子産業的發展將推動整個半導體市場的持續增長。隨著中國半導體行業的發展以及半導體終端市場的增長,最大的成熟製程晶片市場,中國半導體市場的發展潛力正被不斷釋放。
據了解,伴隨業務發展,ASML在華員工數一直在可持續增長。如今其中國大陸員工總人數已超過1,600人,並將於未來繼續發展人才隊伍,以支援本地業務長期發展。（企業供圖）
