擁抱“光子時代” 陜西先進光子器件工程創新平臺全面啟用

陜西光電子先導院先進光子器件工程創新平臺3月30日在西安高新區全面啟用。該平臺具備光子晶片製程中的光刻、刻蝕、蒸鍍等多項核心工藝，將為光子産業項目提供産品研發、中試、檢測等全流程技術服務，為光子産業各類創新主體打通從産品研發到市場化批量供貨的完整鏈條。

該平臺的啟用，標誌著陜西向打造具有全球影響力的光子産業生態高地的戰略目標又邁出了堅實的一步，將吸引更多光子産業創新要素匯聚陜西，培育一批具有先發優勢和全球競爭力的光子産業冠軍企業，推動光子産業向集群化、規模化、高産值化發展。

實現光子産業鏈上下游企業聚集

據了解，先進光子器件工程創新平臺佔地30畝，建有中試車間、中試大樓、綜合樓和動力站等研發和中試配套設施，總建築面積約30000平方米，潔凈廠房3000平方米，一期專業設備100余臺（套），具備以GaAs（砷化鎵）、GaN（氮化鎵）為主線，圍繞6英寸化合物晶片工藝服務能力的柔性中試平臺，以技術服務與工程代工相結合的形式，為光子産業孵化項目提供産品研發、中試、檢測等全流程技術服務。

同時，先進光子器件工程創新平臺將有效解決第三代化合物半導體晶片製造的外延生長與製程等關鍵問題，為光電晶片、功率器件、射頻器件等晶片設計企業、高校、科研院所提供外延生長、光刻、刻蝕、薄膜製備、清洗、減薄、拋光、劃片等晶片製造全流程服務。

先進光子器件工程創新平臺通過與創新企業持續進行聯合研發，光子晶片製程中的光刻、刻蝕、蒸鍍等多項核心工藝技術不斷攻克，平臺軟硬體建設已不斷完善，將持續助力光子産業鏈上下游企業聚集。

中國科學院西安分院院長趙衛表示：“希望陜西光電子先導院先進光子器件創新平台啟用後，能夠吸引更多光子産業創新要素匯聚陜西，攻關一批引領未來的關鍵核心技術，培育一批具有先發優勢和全球競爭力的光子産業冠軍企業，推動光子産業進一步向集群化、規模化發展。”

成功破解光子企業“兩難”困境

作為“追光計劃”與“秦創原”成果轉化及展示平臺，陜西光電子先導院積極發揮陜西光子産業鏈“鏈主”企業作用，通過稀缺平台資源+專業技術服務，為解決實驗室無法工程化創新成果，而成熟晶片代工廠又難以承接小量創新産品産出的兩難局面，實現了有效的工程化銜接。

2014年，賽富樂斯半導體科技有限公司研發出半極性氮化鎵材料，並耗時三年走到量産階段。然而，生産所需MOCVD（金屬有機化學氣相沉積）外延爐設備一台就要耗資上千萬，一條光電子晶片産線造價數以億計，這對於這家幾乎沒有營收的初創企業來説是簡直是天文數字。2016年底，陜西光電子先導院主動提出讓賽富樂斯按租用的方式使用設備，企業創始人陳辰來到西安實地參觀完生産線後，馬上決定將公司落戶西安。2017年，賽富樂斯正式上線4英寸半極性氮化鎵材料，並從 2018年3月開始規模生産及銷售，良率達到95%以上，成為全球首家能夠量産工業級半極性氮化鎵材料的企業。

目前，陜西光電子先導院已培育和聚集了近百家光子産業企業，入駐光電子領域企業30余家，其中一半以上為海歸高端創業團隊，例如耶魯大學團隊、龔平博士團隊、張文偉博士團隊、程東博士團隊等，成為光子領域一流的創新生態和創新高地，在全球光子産業中與國外保持同步，初步搶佔了光子産業“窗口期紅利”。

助力陜西搶佔“光”先機

21 世紀被認為是“光子時代”。當前，全球 IT 産業正處在“從電子到光子”的世代轉換過程中，光子産業有望成為 21世紀最具戰略性、基礎性、先導性的新興産業。

陜西在光子産業方面具有明顯優勢。一方面，陜西擁有中科院西安光機所、西電、西工大等一批光子學科齊全、特色鮮明的大院大所和高校，科研成果豐厚。另一方面，陜西光子産業集群已初具規模，初步形成了光子製造、光子資訊、光子傳感等産業集群。同時陜西在光子技術産業領域有著深厚的科研基礎，高折射率硅光晶片、微納光波導、光柵耦合器和VCSEL（垂直腔面發射鐳射器）鐳射器、半極性GaN（氮化鎵）光電晶片襯底材料等方面處於行業領先水準。在世界新一輪科技革命和産業變革同我國轉變發展方式的歷史性交匯關鍵時期，為贏得先機，陜西推動實施了“追光計劃”，搶抓光子産業高速增長的戰略機遇。

2015年10月，陜西省科技廳、西安高新技術開發區與中國科學院西安光機所聯合發起成立了陜西光電子先導院。陜西光電子先導院先進光子器件創新平臺作為陜西省2022年重點建設工程，項目僅用6個月就完成主體封頂，12個月完成了機電工程，14個月完成核心設備搬入，16個月就實現平臺的正式啟用，展現了 “追光速度”和“高新效率”。

未來，陜西光電子先導院將立足光子製造、光子材料與晶片、光子傳感三大重點領域，緊密融合秦創原創新驅動平臺，在加快統籌謀劃“追光計劃”的過程中，積極探索光子領域“新型舉國體制”的實踐經驗，引領光電行業發展，擁抱“光子時代”。（西安高新區）