中國製造出最大面積中階梯光柵 達國際領先水準

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　　科技日報長春11月11日電(記者李大慶)11日，由中科院長春光機所研製的大型高精度衍射光柵刻劃系統通過驗收，標誌我國大面積高精度光柵製造技術已達國際領先水準，結束了我國在此領域受制於人的局面。

　　衍射光柵(下稱光柵)是一種具有奈米精度週期性微結構的精密光學元件，它在光譜學、天文學、鐳射器、光通訊、新能源等諸多領域中有重要應用。光柵面積大可獲得高集光率和分辨本領，精度高可獲得更好的信噪比。但是，同時將光柵做大和做精則是世界難題。我國戰略高技術領域所需要的高精度大尺寸光柵受到國外嚴格限制，這成為制約我國相關領域技術發展的短板。

　　2008年，在中科院和財政部支援下，長春光機所啟動大型高精度衍射光柵刻劃系統項目，目標是研製一台刻劃面積屬世界之最、技術水準達國際領先的大型高精度衍射光柵刻劃機。

　　光柵刻劃機是製作光柵的母機，因部件的加工裝調精度之難，運作保障環境要求之高，被譽為“精密機械之王”。據項目負責人唐玉國介紹，本項目研製的光柵刻劃機，幾乎所有關鍵部件都衝擊世界極限水準，項目組突破了一系列核心高精度零件的加工製造技術。“經過8年攻關，我們攻克了18項關鍵技術，取得9項創新性成果，研製出一套大型高精度光柵刻劃系統，並成功研製出面積達400mm×500mm的世界上面積最大的中階梯光柵。”

　　項目驗收組組長曹健林説，大型高精度光柵刻劃系統以及大面積中階梯光柵的研製成功，不僅打破了我國在該領域受制於人的局面，而且能幫助我國光譜儀器産業改變低端化現狀，提升拓展國際市場的能力。