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國內首臺自主研製的直寫式光刻機 合肥問世
中國網 china.com.cn  時間: 2007-12-27  發表評論>>

國內首臺自主研製的直寫式光刻機 合肥問世

 

12月25日,國內首臺具有世界領先水準、擁有自主智慧財産權的直寫式光刻機在合肥問世,標誌著我國亞微米級光刻機完全依賴進口的局面將被打破。圖為科研人員展示一張刻有電子晶片電路圖的成品晶元。新華社供圖(科學時報)

文章來源: 中國網 責任編輯: 葉子
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