國産離子注入設備實現28奈米工藝全覆蓋

記者29日從中國電子科技集團獲悉，該集團旗下中電科電子裝備集團有限公司（以下簡稱電科裝備）已實現離子注入裝備28奈米工藝製程全覆蓋，有力保障我國積體電路製造行業在成熟製程領域的産業安全。

據悉，離子注入機是晶片製造中的關鍵裝備，28奈米則是當前晶片應用領域中覆蓋面最廣的成熟製程。

電科裝備連續突破光路、控制、軟體等關鍵模組的核心技術，形成中束流、大束流、高能及第三代半導體等全系列離子注入機産品格局，實現了28奈米工藝製程全覆蓋，切實保障中國“芯”的生産製造。

據了解，作為國內最早從事離子注入設備研製及産業化的企業，電科裝備已具備從産品設計到量産應用的完整研製體系，産品涵蓋邏輯、存儲、功率器件、感測器等工藝器件，百台設備廣泛應用於國內各大積體電路先進産線，累計流片量超2000萬片，有力提升我國産業鏈供應鏈韌性和安全水準。