鐳射退火儀在國內首條量子晶片生産線上投入使用

記者日前從安徽省量子計算工程研究中心獲悉，國內首個專用於量子晶片生産的MLLAS—100鐳射退火儀已研製成功，可解決量子晶片位數增加時的工藝不穩定因素，像“手術刀”一樣精準剔除量子晶片中的“瑕疵”，增強量子晶片在向多比特擴展時的性能，從而進一步提升量子晶片的良品率。

據了解，該鐳射退火儀由合肥本源量子計算科技有限責任公司（以下簡稱本源量子）完全自主研發，可達到百奈米級超高定位精度，對量子晶片中單個量子比特進行局域鐳射退火，從而定向控制修飾量子比特的頻率參數，解決多比特擴展中比特頻率擁擠的問題，助力量子晶片向多位數擴展。

“我們在量子晶片生産過程中，會通過量子晶片的‘火眼金睛’——無損探針儀來發現量子晶片的優劣，對於其中的‘壞品’‘次品’，會採用鐳射退火儀去處理其存在的問題，就像是醫生做手術一樣，這把‘手術刀’能夠‘對症下藥’，改善其中‘不良’部分，從而提高量子晶片的品質。”安徽省量子計算工程研究中心副主任賈志龍説，之前發佈的量子晶片無損探針儀和這臺量子晶片鐳射退火儀都屬於量子晶片工業母機，前者是發現問題，後者是解決問題，它們之間相互配合，才能夠生産出更高品質的量子晶片。

中國科學技術大學教授郭國平介紹，量子電腦是具有重要戰略價值的國之重器，被喻為“資訊時代原子彈”。代表量子電腦能力水準的一個重要參數是它的量子比特位數，量子比特位數越高，其計算能力越強。

“為了解決更高位數量子電腦中的多比特量子晶片生産問題，我們自主研發了該設備。”賈志龍表示，這臺鐳射退火儀擁有正向和負向兩種鐳射退火方式，可以在生産過程中靈活調節多比特超導量子晶片中量子比特的關鍵參數。同時，該設備還可用於半導體積體電路晶片、材料表面局域改性處理等領域，目前已在國內第一條量子晶片生産線上投入使用。

據悉，本源量子是中國第一家量子計算公司，擁有國産首個工程化超導量子電腦，一直致力於超導與硅基半導體兩條産線工藝的量子計算晶片的研發，目前已建設全國第一條量子晶片生産線，發佈國內首個量子晶片設計工業軟體“Q—EDA”本源坤元，進一步實現我國量子晶片的自主研發及産業化，助力我國在全球新一輪量子計算競爭中搶佔先機。（記者吳長鋒）