記者得知“自然”雜誌將要公佈華裔科學家周鬱發明製造電腦晶片新方法的消息後，立即用電話採訪了他。周鬱告訴記者，將來能像製造汽車零件一樣，用“壓印法”製造電腦晶片。同現有的光刻法相比，“壓印法”速度更快、成本更低，能夠生産更小型的晶片。
周鬱説：“有可能直接地在一小塊硅片上，壓印小至10奈米的線路圖。”目前工業上是採用標準的光刻工藝來製造晶片，僅能刻製大小約130奈米的線路。新技術採用由石英製成的壓印模，該印模帶有待壓印的線路圖。當壓模壓向硅片時，用一束大功率鐳射射穿透明的壓印模，將硅表面熔化，待其變硬後，它將保持一個永久的壓印線路圖。由於新方法加工過程快速，且直接壓印，可免除目前晶片製造過程中很多中間工藝，降低了晶片製造成本。
畢業于中國科學技術大學的周鬱，1980年獲得中國科學院研究生院碩士學位，後赴美學習，取得麻省理工學院博士學位。現在斯坦福大學及普林斯頓大學從事科研工作。7年前，周鬱曾因發明使用刻光膠的方法來製造積體電路，獲得過美國專利。（張孟軍）
科技日報 2002-6-20
