北京亦莊打造強勁“中國芯”

原標題：國産設備生産12寸晶圓突破千萬片次 北京亦莊打造強勁“中國芯”

7日從北京經濟技術開發區了解到，截至今年11月，中芯國際北京廠使用國産設備加工的12寸正式産品晶圓加工突破一千萬片次，這標誌著國産設備在大生産中的充分驗證和市場化，國産設備技術和市場競爭力邁上了一個新臺階。

北京經濟技術開發區有關負責人表示，區域的積體電路産業鏈佈局為實現晶片製造設備國産化奠定了堅實基礎，目前，開發區已形成集製造、封測、裝備、零部件及材料、設計企業在內的完備産業鏈，積體電路産業規模佔北京市的二分之一。

12寸積體電路國産設備是實現我國積體電路晶片自主製造的基礎，設備要求高，系統複雜，相當長的一段時間內，主要由美日德等原設備供應商供應，國內沒有成熟的生産鏈。2008年，國家科技重大專項02專項組織“産學研”聯合開發，把目標直接定在世界上最先進的40奈米和28奈米技術節點，並由行業的龍頭企業來牽頭。

隨著專項的順利實施，積體電路生産製造關鍵設備實現國産化併為國産設備在中國積體電路産業鏈中的大面積應用打開了局面。2015年，中芯國際北京廠國産化生産設備進入晶圓産品量産階段，新增國産設備主機臺及附屬機臺數百台，包括幹法刻蝕機、物理氣相淀積設備、單片退火爐設備、單片清洗機、中束流離子注入機、化學氣相淀積設備、分片機設備等等。這些國産設備出色地通過了28奈米-90奈米技術節點的大生産線驗證，與進口設備肩並肩滿負荷生産。今年11月，中芯國際北京廠國産設備生産12寸晶圓突破“千萬大關”。

中芯北方副總經理張昕介紹説，大生産目標是完全正確的，但挑戰也是最大的，參與企業和科研單位從開發理念到管理方法都必須全面更新。在科研上，以往的探索式研究只需要單點突破，一百次嘗試有一次成功就可以宣告成功了。現在要提供大生産技術，必須一百次都成功，而且成功的結果還必須完全一樣，發散一點兒都不可以。在裝備的設計上，以往都是自己在實驗室裏閉門造車，造成一個“鐵箱子”，然後搬到工廠裏去，不行再搬回來改。現在要預先知道生産的具體要求是什麼，隨時改進，共同開發。

記者注意到，中芯國際北京廠使用的國産設備中，有相當一部分都産自開發區。拿與中芯國際北京廠“比鄰”的北方華創來説，其已成功開發了以刻蝕設備(ETCH)、化學氣相沉積設備(CVD)、物理氣相沉積設備(PVD)三大類半導體裝備産品為基礎的20余類産品，成功替代國外廠商同類産品。

北京經濟技術開發區投資促進局局長王延衛介紹説，北京經濟技術開發區作為國內重要的積體電路産業基地，已形成集製造、封測、裝備、零部件及材料、設計企業在內的完備産業鏈。積體電路産業規模已經佔到全市的1/2，率先在國內建成首條12英寸積體電路生産線，一批代表企業及研究機構承接了系列國家重大科技專項任務，在關鍵裝備及材料、先進工藝的開發及産業化等方面取得一批代表國家最高水準的成果，為我國積體電路産業實現自主發展奠定了堅實基礎，也確立了北京在全國積體電路産業佈局中的領先地位。未來，開發區將致力於成為全球領先的，先進新型記憶體、基帶晶片和射頻電路、電力電子及功率器件、積體電路代工及裝備四大高精尖領域的研發製造中心，成為中國積體電路産業的核心區與承載地。(圖文;金蘭)